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微机械与微细加工技术
苑伟政
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《微机械与微细加工技术》内容简介：微机械被誉为21世纪最具代表性的技术之一。《微机械与微细加工技术》共分8章，结合作者近年来的研究工作，系统地介绍了微机械学科的起源、发展过程及当前国内外该学科的研究内容与成果，内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构、微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术、微传感器、微致动器及其它微器件、典型微型电子机械系统与微机器人等等。《微机械与微细加工技术》可供
微加工导论
弗兰西拉
微加工是集成电路、微传感器、光子晶体、喷墨打印机、太阳能电池和平板显示器的关键技术，虽然微系统较复杂，但其基本微结构和微加工工艺还算简单。本书介绍了怎样多次应用普通的微加工方法制造含有各种结构和功能的器件。 本书包含了250道课外作业，使读者熟悉微观材料、尺度、测试、成本和缩放趋势。本书包含了研究和制造两个主题，重点是微加工的主体——硅材料。 本书将是想学习关于微结构和微加工技术的电子工程
