微加工导论
弗兰西拉
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微加工是集成电路、微传感器、光子晶体、喷墨打印机、太阳能电池和平板显示器的关键技术，虽然微系统较复杂，但其基本微结构和微加工工艺还算简单。本书介绍了怎样多次应用普通的微加工方法制造含有各种结构和功能的器件。 本书包含了250道课外作业，使读者熟悉微观材料、尺度、测试、成本和缩放趋势。本书包含了研究和制造两个主题，重点是微加工的主体——硅材料。 本书将是想学习关于微结构和微加工技术的电子工程
