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微系统设计
Stephen D.Senturia
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《微系统设计》将多学科的基础知识有机联系起来，带领大家进入微系统设计世界。这些知识是工作在MEMS领域的工程师所必不可少的。 全书涉及的主题范围广泛，包括：微加工技术、机械学、热流理论、电子学、噪声、带反馈或不带反馈的系统动力学等。因为很难简要地阐明“优良”设计的基本原理，《微系统设计》以提供一组实例研究的方式进行组织，这些实例研究或者基于真实的产品，或者基于已发表在文献
