韩晓泉

韩晓泉,毕业于中国科学院研究生院,博士,正高级职称,从事集成电路制造装备与光电精密测控研发工作近二十年,熟悉控制算法、机器视觉、光电测量和数据处理等研究方向,发表论文30余篇,授权发明专利10余项。