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微系统设计与制造
王喆垚
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《微系统设计与制造》介绍微系统的基础理论、分析设计方法和制造技术，以及前沿应用领域的多种典型器件，主要内容包括：微系统基本力学、微系统制造技术、微型传感器、微型执行器、射频微系统（PF MEMS)、光学微系统（MOEMS)、生物医学微系统（BioMEMS)以及微流体与芯片实验室。《微系统设计与制造》强调设计与制造相结合、基础与前沿相结合，在基础理论和制造技术的基础上，深入介绍典型器件的设计和制造方
