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真空系统设计
张以忱
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《真空系统设计》从真空系统所用材料、系统组成、系统设计计算、真空系统的安装调试和操作维护等方面较详细地介绍了真空系统设计的全部内容，论述了真空系统设计与计算所用的相关基础理论，并根据国际最新设计理论和作者多年的真空系统设计实践经验提出了一些较新的设计理念和设计方法。书中既有基础理论知识，又有实际应用介绍，提供了大量相关的图表数据及设计计算例题，具有很强的实用性。
真空镀膜技术
《真空镀膜技术》共分10章，系统地阐述了真空镀膜技术的基本慨念和基础理论、各种薄膜制备技术、设备及工艺、真空卷绕镀膜技术、ITO导电玻璃真空镀膜工艺，尤其重点介绍了一些近年来新出现的镀膜方法与技术，如反应磁控溅射镀膜技术、中频磁控溅射镀膜和非平衡磁控溅射镀膜技术等；还详细介绍了薄膜沉积及膜厚的监控与测量以及表面与薄膜分析检测技术等方面的内容。 《真空镀膜技术》具有很强的实
真空镀膜设备
《真空镀膜设备》详细介绍了真空镀膜设备的设计方法与镀膜设备各机构元件的设计计算、设计参数的选择，其中重点、系统地介绍了磁控溅射靶的设计计算和溅射镀膜的膜厚均匀性设计。全书共分13章，主要讲解真空镀膜室结构、镀膜室工件架、真空镀膜机的加热与测温装置、真空镀膜机的抽气系统、真空室电和运动的导入结构、溅射镀膜设备的充布气系统、蒸发源、磁控溅射靶、溅射镀膜的膜厚均匀性等方面的设计与计算。
电子枪与离子束技术
张以忱 编
本书主要介绍与电子枪、离子源设计有关的基础理论，离子源及离子束应用技术，特别介绍了常用的强流轴向电子枪、偏转电子枪、HCD电子枪与S枪的设计与计算。 本书集设计理论和具体设计方法于一体，理论与工程实践有机结合，适合于真空技术、真空冶金、材料工程、热处理、焊接等行业从事设计研究、设备应用与维护的技术人员使用，也可供大专院校相关专业师生参考。
