集束型晶圆制造装备调度及其优化算法

由李林瑛、卢睿著的《集束型晶圆制造装备调度及其优化算法》以集束型晶圆制造装备为研究对象，在全面分析其调度特点及调度方法的基础上，分析集束型装备各类调度问题，运用优化调度方法设计了相应的求解方案。本书提出的方法和技术将为广大企业、科研院所、高等院校进一步深入研究集束型晶圆制造装备调度问题提供理论基础，为推动集束型晶圓制造装备调度技术发展和企业实际应用提供参考，对提升我国晶圆制造企业的核心技术竞争力及行业综合实力具有重要意义。 本书可供从事集束型晶圆制造装备计划、调度和优化等相关领域研究工作的科研人员，自动化控制、 工业工程等专业研究生和教师，制造管理及微电子制造行业生产管理或工程技术人员等阅读和参考。