微制造与纳米技术

本书主要介绍了微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS）、激光 技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补 偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器 等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技 术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法， 以及应用和前景等。