刘俊标等的作品

微纳加工中的精密工件台技术

刘俊标等

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《微纳加工中的精密工件台技术》是“电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著”中的一个分册。它与已出版的《电子束曝光微纳加工技术》一书相辅相成，重点讲述微纳加工中的关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术，以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。全书分为九章。第一章 讲述精密工件台的组成、发展现状和主要技术指标。第二章 至第五章 系统介绍精密测量技术、驱动技术、直线导向技术的工作原